海口光谱共焦位移传感器品牌企业
本实用新型涉及光电精密测量领域,尤其涉及的是一种光谱共焦位移传感器。随着我国的航空航天、汽车、造船等高技术产业飞速发展,对产品和零部件外形尺寸的工艺水平及精度要求越来越高,所以,能否进行高效率、高精度的检测,将直接关系到产品的质量和使用寿命。能进行高效率、高精度测量的技术手段通常分为接触式测量(以机械式和压电式为主)与非接触式测量(光学式为主)两类。非接触式光学测量具有如下优点:无损检测:可测量柔软和易变形件、脆性和易损件,特别适合不允许接触的场景。光谱共焦位移传感器是一种高精度、非接触式的位移测量传感器。海口光谱共焦位移传感器品牌企业
这样,通过棱镜组对接收光纤的出光端发出的多色光进行色散,色散后的光通过聚焦透镜组进行聚焦,使焦点位于感光元件上,通过感光元件与控制电路电性连接,从而实现电信号输出,即对反射光进行量化处理,量化后的光波在光谱仪上产生一个光谱波峰,光谱曲线的峰值位置与聚焦于被测物体表面的波长产生对应关系;光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析,通过波光谱波峰位置反推出被测物体的位移,实现使用光谱共焦原理测量位移的过程。本实施例采用棱镜组进行色散,具有较小的光能量损失。无锡光谱共焦位移传感器厂家该传感器的应用将有助于提高微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量的准确性和效率。
传统的光谱仪中,还可采用光栅进行分光,与棱镜组相比,光栅分光的光能量损失较大,对于光谱共焦系统,finally照射到光谱仪的感光器件上的efficient光谱仪中,还可采用光栅进行分光,与棱镜组相比,光栅分光的光能量损失较大,对于光谱共焦系统,finally照射到光谱仪的感光器件上的有效光能信号很弱,影响测量精度和效果。光谱仪还包括有用于对反射光进行准直的准直透镜组,准直透镜组设置在接收光纤的出光端与棱镜组之间。通常光线是发散的,即开始相邻的两条光线传播后会相离越来越远,通过准直透镜组对反射光进行准直,可以让多色光平行射入棱镜组。平行光束的方向稳定性高,在接收平面上能形成稳定的中心,有利于后续对各色光进行色散。
进一步,光谱共焦位移传感探头包括有:探头壳体,探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接; 半透半反光学镜,半透半反光学镜固定设置在入射光纤的出光端的正下方;反光镜,反光镜固定设置在探头壳体的内侧壁上,反光镜用于反射半透半反光学镜所发出的反射光,接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。进一步,半透半反光学镜包括有上三棱镜,与上三棱镜相胶合的下三棱镜,胶合面镀有半透半反膜,半透半反膜与所述入射光纤的出光端射出的光线呈45°设置,上三棱镜和下三棱镜均采用等边直角棱镜,上三棱镜和下三棱镜的直角边相等。光谱共焦位移传感器可以实时监测材料的变化情况,对于研究材料的力学性能具有重要意义。
远距离测量:可远离被测物体进行扫描测量。 测量效率高:不像接触测头那样需要探测、返回、移动等进行逐点测量,可高速扫描测量。测量精度高:光斑可聚焦到很小,进而可探测一般机械测头难以探测的部位。 其中,光学测量以三角测量法应用broadest。而根据三角测量法制成的三角位移传感器通常所使用的光源为具有亮度高、探测信噪比高的激光光源,但使用激光进行三角测量时,照射到物体表面的激光会呈现颗粒状的散斑,而且被测物体的颜色、材质和放置的角度会影响的光斑的分布,从而确定像点的质心位置变得异常困难,导致三角法测量误差比较大,在测量光洁度高的物体表面时这些缺陷更为明显,为了更加精细、更加稳定的测量位移,需要采用新型位移测量技术。因此,现有技术还有待于改进和发展。该传感器可以与其他测量设备相结合,实现多参数的综合测量。徐州光谱共焦位移传感器生产厂家哪家好
光谱共焦位移传感器是一种高精度、高分辨率的位移测量技术,具有广泛的应用前景。海口光谱共焦位移传感器品牌企业
6.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱仪包括有机壳,固定设置在机壳中并位于所述接收光纤出光端的轴向上且用于对反射光进行色散的棱镜组,固定设置在所述棱镜组的出光端并用于对色散后的光进行聚焦的聚焦透镜组,所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根据权利要求6所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组,所述准直透镜组设置在所述接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。海口光谱共焦位移传感器品牌企业
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